Электронный микроскоп Hitachi SU3500/Model3500 SEM

Оформить заявку

Назначение прибора

Cканирующий электронный микроскоп Hitachi SU3500 предназначен для наблюдения увеличенных изображений поверхностей как проводящих, так и диэлектрических образцов. Помимо изображения поверхности и топографии поверхности имеется возможность определения качественного и полуколичественного составов исследуемых образцов. Элементное картирование в режиме волновой и энергетической дисперсии адекватно отображает распределение элементов в образце. Режим наблюдения дифракции обратно отражённых электронов позволяет исследовать кристаллическую структуру поверхностных слоёв.

Основные технические характеристики прибора

Характеристика

Значение

Ускоряющее напряжение:

0.3-30 кВ

Увеличение:

´5-300 000

Разрешение:

До 3 нм

Глубина резкости:

0,5 мм

Детектор:

детектор вторичных электронов

детектор обратно рассеянных электронов

Источник электронов:

вольфрамовый катод

Перемещение столика образца:

X=0..100 мм,
Y=0..50 мм
Z=5..65 мм

Максимальный размер образца:

200 мм в диаметре, 50 мм в высоту

Режимы исследования:

стандартный высоковакуумный и режим снятия зарядки с образца (низковакуумный режим)

Формат сохраняемых данных:

BMP, TIFF, JPEG

Рентгеноспектральный анализатор

Рентгеноспектральный энергодисперсионный анализаторBRUKER XFlash 6160
Рентгеноспектральный волнодисперсионный анализатор BRUKER XSense WD

Тип детектора:

SDD кремний-дрейфовый детектор с рабочей площадью 60 мм2

Гарантированное разрешение по энергии:

135 эВ (Mn-Kα), 154 эВ (Cu-Kα)

4 эВ (Si Kα)

Диапазон определяемых элементов:

от B (5) до U (92)

Рентгеновское картирование:

есть

Области применения прибора

Материаловедение, минералогия, геология, медицина, металлургия, нанотехнология, физика полупроводников. Кристаллографический анализ ровных поверхностей.

Требования к образцам исследования

Порошковый или компактный, стабильный, устойчивый к высокому вакууму и локальному нагреву электронным пучком. Размер образца высотой до 50 мм до 200 мм. Наилучшие результаты получаются для электропроводных образцов. Для дифракционного анализа поверхность образца должна быть атомарно гладкой.

Время необходимое на одно измерение

Измерение занимает от 45 минут (время выхода в рабочий режим + 1 фотография).

Форматы данных, выдаваемых прибором

Изображения в формате .JPEG и базы данных микрорентгеноспектрального анализа в формате .BCF. Возможно выдача отчёта в формате .DOC.

Контактная информация

<Шабанов Александр Васильевич
тел. 8(913)-539-74-61
e-mail: alexch_syb@mail.ru
Место расположения прибора:Академгородок 50, строение 12 (технологический корпус института физики), к.0-16.
Ответственный за прибор
Заявки принимает Шабанов Александр Васильевич
тел. 8(913)-539-74-61
e-mail: alexch_syb@mail.ru