Центр коллективного пользования

Красноярского научного центра СО РАН

Настольный растровый электронный микроскоп Hitachi TM4000

Назначение прибора

Предназначен для получения и обработки увеличенных (до x100 000) изображений поверхности образцов в обратно отражённых (backscattered-electrons, BSE) и вторичных (secondary electrons, SE) электронах. Области применения: индивидуально-типологические особенности морфогеометрии поверхности; размер и форма частиц, зёрен, включений; локальный электроннозондовый рентгеноспектральный микроанализ (EDX): качественный и полуколичественный элементный (от B до Am) анализ матрицы и включений; элементное картирование поверхности при различных увеличениях (от x15 до x100000).

Электронный микроскоп TM4000Plus:

Прободержатель с закреплёнными образцами:

Основные технические характеристики прибора

Увеличение x10 - x100 000;
Ускоряющее напряжение: 5 кВ, 10 кВ, 15 кВ;
Перемещение столика: X±40 мм, Y±35 мм;
Максимальный размер образца: 80 мм в диаметре, 50 мм в высоту;
Минимальный шаг перемещения: 65 нм;
Детекторы: 4-х сегментный высокочувствительный полупроводниковый детектор, детектор вторичных электронов для режима низкого вакуума;
Источник электронов: предварительно центрированный вольфрамовый катод;
Страна происхождения: Япония.

Система энергодисперсионного (ЭДС) микроанализа для настольного электронного микроскопа Hitachi TM4000Plus:

Кремний-дрейфовый детектор с рабочей площадью 30 мм2
Гарантированное разрешение по энергии: 137 эВ (Mn Kα)
Определение элементов от 5В до 95Am
Рентгеновское картирование

Области применения прибора

Исследование морфологии поверхности сухих твёрдых образцов. Определение элементного состава.

Материаловедение;
Нанотехнологии;
Биотехнологии;
Медицина.

Требования к образцам исследования

Порошкообразный или компактный стабильный (без газовыделения, непылящий, невзрывоопасный) образец, устойчивый к высокому вакууму и локальному нагреву электронным пучком. Размер образца высотой до 50 мм и до 80 мм в диаметре. Наилучшие результаты получаются для электропроводных образцов с плоскопараллельной основанию рабочей поверхностью.

Время, необходимое на одно измерение

В зависимости от сложности пробоподготовки и навигации от 10 минут до нескольких суток.

Расходные материалы

В зависимости от сложности пробоподготовки: электрически проводящая углеродная двухсторонняя лента для SEM, адгезивы, спирт, ацетон, прободержатели, мишени (Au, Pt, Au-Pd, C и т. п.) для напыления электрически проводящих покрытий, аргон высокой частоты для напыления металлических покрытий и ионного травления, вакуумное масло, эпоксидная смола, метилметакрилат (порошок), шлифовальные материалы, отрезные диски, диафрагмы, катоды. Единицы измерения: л, кг, шт

Форматы данных, выдаваемых прибором

В электронном виде. Изображения в формате JPEG и базы данных микрорентгеноспектрального анализа в формате BCF. Программы для обработки полученных данных: Word, Excel, Adobe Reader, PhotoShop, GNU GIMP, Bruker Quantax 70.

Процедура подачи образца на измерения

Передача заказчиком образца, подготовленного согласно требованиям, с описанием по форме (Заявка_TM4000Plus.doc). Регистрация в журнале учёта образцов в Технологическом корпусе Института физики им. Л. В. Киренского СО РАН, к.0-01.

Услуги и их стоимость

пробоподготовка (запрессовка, резка, шлифование, полирование, напыление проводящих покрытий, вакуумное импрегнирование);
получение изображений поверхности образца; исследование морфологии образца;
электроннозондовый микроанализ; построение рентгеновских карт распределения элементов.

Типовая форма договора на оказание услуг

Контактная информация

Место расположения прибора:	Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН, 660036, Красноярск, Академгородок, 50/12.
Ответственный за прибор	Шабанов Александр Васильевич: тел.: +7-913-539-74-61 e-mail: alexch_syb@mail.ru
Заявки принимает	Шабанов А.В. (alexch_syb@mail.ru) Жижаев А.М (zhyzhaev@mail.ru) Волочаев М.Н. (volochaev@iph.krasn.ru) Немцев И.В. (ivan_nemtsev@mail.ru)