Установка лазерной безмасковой фотолитографии Heidelberg Instruments Heidelberg uPG101

Оформить заявку

Назначение прибора

Генератор изображений микро топологий, лазерная литография для производства микроструктур

Основные технические характеристики прибора

  • Минимальный размер элементов топологии — 1 μм
  • Минимальный зазор между элементами — 1 μм
  • 2 режима экспонирования, фокусное расстояние – 4 мм и 20 мм
  • Минимальный размер экспонируемой точки – 400 нм
  • Максимальный размер экспонируемой точки – 2000 нм
  • Шероховатость граней элементов топологии – 120-400 нм
  • Неоднородность размеров элементов топологии – 200-800 нм
  • Возможность совмещенной литографии
  • Точность совмещения – 200-800 нм
  • Длина волны и мощность лазерного диода – 405 нм, 120 мВт
  • Габариты установки – 1095х700х750 мм3
  • Масса установки – 585 кг

Области применения прибора

  • производство элементной базы микроэлектроники и простейших микросхем
  • производство метаматериаллов и приборов на основе плазмоники
  • производство микроканальных структур для приборов микрофлюидики в медицине
  • производство микро-механических сенсоров

Требования к образцам исследования

  • Минимальные габариты пластин — 5х5 мм2
  • Максимальные габариты пластин — 102х102 мм2
  • Толщина пластин 100 – 1000 μм
  • Клин пластин (неоднородность толщины) < 20 μм
  • Шероховатость пластин (RMS) < 0.5 μм

Время, необходимое на одно измерение

При производстве опытных образцов:

  • время непрерывной работы – 8 часов
  • характерное время изготовления одного образца — 24 часа
  • время исполнения заказа при наличии всех расходных материаллов – 8-40 часов

При производстве серийных изделий:

  • время непрерывной работы – 8 часов
  • характерное время изготовления одного образца — 6 часов
  • время исполнения заказа при наличии всех расходных материаллов – 8 часов

Расходные материалы

Материалл пластин – Si, Ge, SiC, GaN, SiO2, Si3N4, Al2O3, AlN, LiNbO

Фоторезисты — ФП-383, ФП-404, ФН-16У, зарубежные аналоги серии AZ и SU-8

Проявители – ФП236А, TMAH, зарубежные аналоги серии AZ и MF

Процедура подачи образца на измерения

На электронную почту необходимо выслать чертеж топологии в формате .dxf или .gds. Все элементы чертежа должны быть в формате полигонов (многоугольников), линии и текст не допускаются

К чертежу приложить максимально подробное описание тех процесса с указанием: полярности литографии (элементы чертежа экспонируются или неэкспонируются), толщины и типа фоторезиста (позитивный или негативный), точности изготовления размеров топологии

Выслать пластину, на которой будет производится литография на адрес расположения прибора

При заказе литографии на импортном фоторезисте выслать фоторезист в светонепроницаемой таре и проявитель на адрес расположения прибора

Услуги и их стоимость

Cтоимость расходных материалов на изготовление одной пластины — 500-5000 руб.

Cтоимость изготовление одной пластины — 5000 - 50000 руб

Контактная информация

Место расположения прибора:Академгородок 50, стр. 12, каб. 2-20Б, Красноярск, 660036
Ответственный за приборЛексиков Андрей Александрович
Заявки принимает Барон Филипп Алексеевич
тел. +7 902-976-7048
e-mail:filippbaron@mail.ru

Поделиться: