Центр коллективного пользования

Красноярского научного центра СО РАН

Установка лазерной безмасковой фотолитографии Heidelberg Instruments Heidelberg uPG101

Оформить заявку

Назначение прибора

Генератор изображений микро топологий, лазерная литография для производства микроструктур

Основные технические характеристики прибора

Минимальный размер элементов топологии — 1 μм
Минимальный зазор между элементами — 1 μм
2 режима экспонирования, фокусное расстояние – 4 мм и 20 мм
Минимальный размер экспонируемой точки – 400 нм
Максимальный размер экспонируемой точки – 2000 нм
Шероховатость граней элементов топологии – 120-400 нм
Неоднородность размеров элементов топологии – 200-800 нм
Возможность совмещенной литографии
Точность совмещения – 200-800 нм
Длина волны и мощность лазерного диода – 405 нм, 120 мВт
Габариты установки – 1095х700х750 мм3
Масса установки – 585 кг

Области применения прибора

производство элементной базы микроэлектроники и простейших микросхем
производство метаматериаллов и приборов на основе плазмоники
производство микроканальных структур для приборов микрофлюидики в медицине
производство микро-механических сенсоров

Требования к образцам исследования

Минимальные габариты пластин — 5х5 мм2
Максимальные габариты пластин — 102х102 мм2
Толщина пластин 100 – 1000 μм
Клин пластин (неоднородность толщины) < 20 μм
Шероховатость пластин (RMS) < 0.5 μм

Время, необходимое на одно измерение

При производстве опытных образцов:

время непрерывной работы – 8 часов
характерное время изготовления одного образца — 24 часа
время исполнения заказа при наличии всех расходных материаллов – 8-40 часов

При производстве серийных изделий:

время непрерывной работы – 8 часов
характерное время изготовления одного образца — 6 часов
время исполнения заказа при наличии всех расходных материаллов – 8 часов

Расходные материалы

Материалл пластин – Si, Ge, SiC, GaN, SiO2, Si3N4, Al2O3, AlN, LiNbO

Фоторезисты — ФП-383, ФП-404, ФН-16У, зарубежные аналоги серии AZ и SU-8

Проявители – ФП236А, TMAH, зарубежные аналоги серии AZ и MF

Процедура подачи образца на измерения

На электронную почту необходимо выслать чертеж топологии в формате .dxf или .gds. Все элементы чертежа должны быть в формате полигонов (многоугольников), линии и текст не допускаются

К чертежу приложить максимально подробное описание тех процесса с указанием: полярности литографии (элементы чертежа экспонируются или неэкспонируются), толщины и типа фоторезиста (позитивный или негативный), точности изготовления размеров топологии

Выслать пластину, на которой будет производится литография на адрес расположения прибора

При заказе литографии на импортном фоторезисте выслать фоторезист в светонепроницаемой таре и проявитель на адрес расположения прибора

Услуги и их стоимость

Cтоимость расходных материалов на изготовление одной пластины — 500-5000 руб.

Cтоимость изготовление одной пластины — 5000 - 50000 руб

Контактная информация

Место расположения прибора:	Академгородок 50, стр. 12, каб. 2-20Б, Красноярск, 660036
Ответственный за прибор	Лексиков Андрей Александрович
Заявки принимает	Барон Филипп Алексеевич тел. +7 902-976-7048 e-mail:filippbaron@mail.ru